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進口ULVAC愛發科 標準渦輪分子泵UTM?B系列
進口ULVAC愛發科 標準渦輪分子泵UTM?B系列
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標配熱傳感器
熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。
用途
分析設備、研究開發設備、實驗設備等的主排氣系統
蒸發設備、濺射設備等著排氣系統
H2、He等輕氣體主排氣系統
| 型號 | UTM70B | UTM300B | |||||
| 泵體 | 冷卻方式 | 自然空冷 | 強制空冷 | 自然空冷 | 強制空冷 | ||
| 法蘭口徑 | 吸氣口*1 | VG65, ICF114, ISO063-K | VG100, ICF152, ISO100-K | ||||
| 排氣口 | KF16 | KF16 | |||||
| 排氣速度 (無防護網時) | N2 | 70 L/s | 280 L/s | ||||
| He | 60 L/s | 270 L/s | |||||
| H2 | 49 L/s | 220 L/s | |||||
| 到達壓力 *2 | 烘烤后 | - *3 | 10-8Pa | - *3 | 10-8Pa | ||
| 烘烤 | 10-6Pa | 10-6Pa | 10-6Pa | ||||
| 最大壓縮比 | N2 : >1×109, He : 4×107, H2 : 4×105 | N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105 | |||||
| 最大吸氣口壓力 *4, *5, *6 | N2 | 0.43Pa | 1.1Pa | 0.06Pa | 0.7Pa | ||
| 最大排氣口壓力 *4, *5, *7 | N2 | 300Pa | 900Pa | 100Pa | 1000Pa | ||
| 連續運轉 最大流量 *8 | 無排放 氣體 | N2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10sccm *10 | 100sccm *10 | |
| 無排放 氣體 | Ar | - | 10sccm *9 | - | 30sccm *10 | ||
| 有排放 氣體 | - | 15sccm *9 | - | 40sccm *10 | |||
| 推薦輔助泵 (10SCCM吸引時 ) *11 | >60L/min | >120L/min | |||||
| 質量 | VG：3.3kg, ISF：3.0kg, ISO：5.0kg | 6.0kg / 9.0kg | 6.3kg / 9.3kg | ||||
| 回轉數 | 87000rpm | 60000rpm | |||||
| 啟動時間（Up to 80%） (DC24V 背圧:5Pa以下時） | 1.7 min | 3.5 min | |||||
| 表面處理 *12 | 無 | ||||||
| 安裝方向 | 安裝可能 | ||||||
| 噪音 *13 | <48dB(A) | <50dB(A) | |||||
| 控制器 | 輸入電源 | DC24V ±5%, 120W | DC24V ±5%, 180W | ||||
| 觸點輸入輸出 | REMOTE(D-sub 15針公頭)數字輸入/輸出4點，模擬輸出1點 | ||||||
| 串行通信 | RS-485(D-sub 15針公頭,與REMOTE共用) | ||||||
| LED顯示 | POWER,NORMAL,ALARM | ||||||
| 開關 | START/STOP,RESET | ||||||
| 回轉數可變機能 | 在泵規定回轉數25%～100%間、可以變更運轉回轉數。（設定為0.1%單位） | ||||||
| 異常檢測 | 報警，檢測警告內容 | ||||||
| 保護動作 | 報警，顯示警告內容 | ||||||
| 標準附屬品 | 使用說明書（CD-R）、防護網（僅限VG、ICF。ISO法蘭的已組入墊片）、 墊片（吸氣口用）、防塵帽（吸氣口、排氣口、連接器用）各1個 | ||||||
| 合格標準 | CE, TUVus | ||||||
| *1 | 訂購時請選擇吸氣口法蘭。 |
| *2 | 使用2段式輔助泵時 |
| *3 | 僅限于使用ICF法蘭強制空冷時才能烘烤。 |
| *4 | 周圍溫度為25°C時的值。允許值隨周圍溫度變化而變化。 |
| *5 | 不能同時滿足最大吸氣口壓力和最大排氣口壓力。 |
| *6 | 為可連續排氣的最大吸氣口壓力。 |
| *7 | 來自進氣口的排氣流量為0sccm時的可連續運行的排氣口的最大壓力。 |
| *8 | 周圍溫度為5～25°C時的值。排放氣體請使用N2以25sccm進行。 |
| *9 | 以60L/min使用輔助泵時的值。 |
| *10 | 以120L/min使用輔助泵時的值。 |
| *11 | 氣體量較大時，在選擇輔助泵時請保證排氣口的壓力要在最大排氣口壓力以下。 |
| *12 | 請勿流入反應性氣體、腐蝕性氣體、含Ga氣體。其他相關問題請聯系我們。 |
| *13 | ISO法蘭型。依據本公司的測量方法。 |
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